中圖儀器SuperViewW1非接觸光學表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。
中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀一體化操作軟件,測量與分析同界面操作,預先配置好分析參數(shù),軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù),實現(xiàn)快速批量測量。
中圖儀器3d光學輪廓儀設(shè)備可以達到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)??蓮V泛應用于汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高??蒲性核阮I(lǐng)域中。
中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。
SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數(shù)秒內(nèi)即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。其載物臺XY行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍可達10mm,在測量大尺寸的樣品時,可以選擇拼接測量(拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um)。
W1光學3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。
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