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非接觸光學表面3d輪廓儀

簡要描述:中圖儀器SuperViewW1非接觸光學表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數據處理系統(tǒng)構成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。

  • 更新時間:2024-05-20
  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 訪  問  量:2104

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區(qū)間面議
產品種類非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產地類別國產
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,生物產業(yè),能源,冶金,綜合

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域中,在同等放大倍率下,非接觸光學表面3d輪廓儀的測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

 

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數據處理系統(tǒng)構成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。

 

700.jpg

 

技術參數

產品型號:SuperView W1系列

產品名稱:光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調整:±5°手動

粗糙度RMS重復性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

 

產品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

 

SuperViewW光學3d輪廓儀能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例1.jpg

 

 

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