中圖儀器3d三維光學輪廓儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。
?中圖儀器非接觸式3d光學輪廓儀SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。非接觸高精密測量方式,不會劃傷甚至破壞工件,而且測量速度快,不必像探頭逐點進行測量。對高深寬比的溝槽結構,可以快速而準確的得到理想的測量結果。
中圖儀器三維光學表面輪廓測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
中圖儀器OP光學輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成。是以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)的光學測量儀器。
中圖儀器SuperViewW1三維光學表面輪廓儀以白光干涉技術為原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
SuperViewW1光學輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,還具有測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。測量速度快,不必像探頭逐點進行測量,非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結構,可以快速而準確的得到理想的測量結果。
中圖儀器光學表面3d輪廓測量儀以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器,用于表面形貌紋理,微觀結構分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。
中圖儀器3D光學輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等,應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
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