簡要描述:SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,還具有測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。測量速度快,不必像探頭逐點進行測量,非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,交通,汽車,綜合 |
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,還具有測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),既可以用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
1、用于太陽能電池測量;
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量;
3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;
4、用于機械部件的計量;
5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀作為非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,測量速度快,不必像探頭逐點進行測量,非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。
產(chǎn)品咨詢
微信掃一掃