簡要描述:中圖儀器NS系列探針式臺階儀/輪廓/形貌/粗糙度/表面2D測試是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
中圖儀器NS系列探針式臺階儀/輪廓/形貌/粗糙度/表面2D測試是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。廣泛應(yīng)用于:大學(xué)、研究實驗室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。
NS系列探針式臺階儀/輪廓/形貌/粗糙度/表面2D測試對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
1.參數(shù)測量功能
1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;
2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數(shù);
3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
2.數(shù)采與分析系統(tǒng)
1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式;
2)導(dǎo)航圖智能測量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標定數(shù)據(jù)、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式。
3)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。
3.光學(xué)導(dǎo)航功能
配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進行即時的高精度定位測量。
4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能
配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進行調(diào)節(jié),提高測量精度及效率。
1.亞埃級位移傳感器
具有亞埃級分辨率,結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性;
2.超微力恒力傳感器
1-50mg可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量;
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。
1、半導(dǎo)體應(yīng)用
(1)沉積薄膜的臺階高度
(2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度
(3)蝕刻速率測定
(4)化學(xué)機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)
2、大型基板應(yīng)用
(1)印刷電路板(突起、臺階高度)
(2)窗口涂層
(3)晶片掩模
(4)晶片卡盤涂料
(5)拋光板
3、玻璃基板及顯示器應(yīng)用
(1)AMOLED
(2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量
(3)觸控面板薄膜厚度測量
(4)太陽能涂層薄膜測量
4、柔性電子器件薄膜應(yīng)用
(1)有機光電探測器
(2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜
(3)觸摸屏銅跡線
型號 | NS200 |
測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
樣品R-θ載物臺 | 電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
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