簡(jiǎn)要描述:要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況,只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能,但耗時(shí)較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀的自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,能在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量,從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,交通,航天,汽車 |
要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況,只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能,但耗時(shí)較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀的自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,能在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量,從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。
1.點(diǎn)擊XY復(fù)位,使得鏡頭復(fù)位到載物臺(tái)中心
2.將被測(cè)物放置在載物臺(tái)夾具上,被測(cè)物中心大致和載物臺(tái)中心重合;3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測(cè)量條件;4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度,找到干涉條紋;5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍;6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo),確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無誤;7.點(diǎn)擊多區(qū)域測(cè)量圖標(biāo),可選擇方形和(橢)圓形兩種測(cè)量區(qū)域形狀;9.根據(jù)被測(cè)物形狀和尺寸,"形狀"欄選擇“橢圓平面",X和Y方向按需設(shè)置;10.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo),儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區(qū)域的對(duì)焦、找條紋、掃面等操作。
中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測(cè)儀器,其分辨率可達(dá)0.1nm。以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。
產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動(dòng)
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測(cè)樣品反射率:0.05%-100
水平調(diào)整:±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取
光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品咨詢
微信掃一掃