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這就是白光干涉儀的幾大特征所在

更新時(shí)間:2021-12-20      點(diǎn)擊次數(shù):1182
 
  白光干涉儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域精度最高的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下,測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。
  是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量,從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。
  白光干涉儀的性能特征:
  1、高精度、高重復(fù)性
  3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng),以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。
  2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
  測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),可視化窗口,結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程。
  3、精密操縱手柄
  集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺(tái)平移、找條紋等測(cè)量前工作。
  4、雙重防撞保護(hù)措施
 ?。?)軟件防撞保護(hù)ZSTOP
  即在Z軸上設(shè)置停止位,設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí),就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng),起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
  (2)Z軸硬件防撞傳感器
  在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù),守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品,也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。
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