簡要描述:基于白光干涉原理,中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。廣泛應(yīng)用于3C電子、微納米材料、微機(jī)電、光學(xué)加工、半導(dǎo)體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測量和分析。
詳細(xì)介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
---|---|---|---|
外形尺寸 | (900x700x604)mm | 重量 | 150kg |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,航天,汽車 | 光源 | 白光/綠光LED |
影像系統(tǒng) | 1024x1024 | 標(biāo)準(zhǔn)視場 | (0.98x0.98)mm |
XY移動(dòng)平臺(tái)尺寸 | (300x300)mm | Z向行程 | 100mm電動(dòng) |
Z向掃描范圍 | 10mm | 可測樣品反射率 | 0.05%~100% |
臺(tái)階測量準(zhǔn)確度 | 0.7% | 臺(tái)階測量重復(fù)性 | 0.1%1σ |
白光干涉儀是3D檢測領(lǐng)域中高精度的精密測量儀器之一,特別是在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域。市場中的國外白光干涉儀品牌,因?yàn)閮r(jià)格昂貴,讓很多企業(yè)望而卻步,品質(zhì)和售后也是參差不齊。做的好的國產(chǎn)白光干涉儀不多,中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀算一個(gè)。
SuperView W1白光干涉儀跟國外的zygo白光干涉儀對標(biāo),品質(zhì)和售后也有保障,更大的優(yōu)勢是軟件方面?;诎坠飧缮嬖?,中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,其*的3D重建算法,自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達(dá)亞納米級(jí)別,讓3D測量變得簡單。
產(chǎn)品參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)配置
可選配置
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、參數(shù)測量:粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網(wǎng)打盡;
2、環(huán)境噪聲檢測:實(shí)時(shí)監(jiān)測,納米波動(dòng),也無可藏匿;
3、雙重防撞保護(hù):軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石”也能安然無恙;
4、自動(dòng)拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫”;
5、雙重振動(dòng)隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動(dòng)山搖,我自巋然不動(dòng)”。
性能特征
1、高精度、高重復(fù)性
3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng),以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),保證了測量精度和測量重復(fù)性。
2、一體化操作的測量分析軟件
測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),可視化窗口,結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺(tái)平移、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護(hù)措施
(1)軟件防撞保護(hù)ZSTOP
即在Z軸上設(shè)置停止位,設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí),就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng),起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù),守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品,也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。
應(yīng)用領(lǐng)域
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1國產(chǎn)白光干涉儀讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠,分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺(tái)階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機(jī)、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)、SJ2000系列指示表自動(dòng)檢定儀等眾多測量、計(jì)量設(shè)備。從納米級(jí)的微觀形貌檢測到百米級(jí)的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案。
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