SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。
SuperViewW白光干涉3D表面形貌儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。典型結(jié)果包括表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等等);幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)。
中圖儀器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細(xì)器件的過程用時短,確保了高款率檢測。
SuperViewW白光干涉微觀形貌及粗糙度儀測量單個精細(xì)器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
SuperViewW白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)讓輪廓測量價格更為實惠。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
SuperViewW白光干涉微觀形貌測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW白光干涉非接觸式輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
SuperViewW納米白光干涉儀微尺寸檢測儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括表面形貌和幾何特征。
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