簡(jiǎn)要描述:SJ6000納米精度位移激光干涉測(cè)量?jī)x采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率。具有實(shí)時(shí)性測(cè)量能力,能夠同時(shí)測(cè)量多個(gè)位置或參數(shù),提高測(cè)量效率。
產(chǎn)品分類
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品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,交通,汽車(chē),綜合 |
中圖儀器SJ6000納米精度位移激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀具有實(shí)時(shí)性測(cè)量能力,能夠同時(shí)測(cè)量多個(gè)位置或參數(shù),提高測(cè)量效率。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率。
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。
在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用:
動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量,SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。
1.基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量
機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià):
?運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置
?高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)
?高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試
振動(dòng)監(jiān)視
?掃描應(yīng)用:用于定位精度不重要,但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合
?機(jī)床應(yīng)用:典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工
振動(dòng)頻率分析
?被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析
?FFT快速傅立葉變換分析
2.基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量
基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量,SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測(cè)量,即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
3.提供脈沖觸發(fā)方式采集
CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號(hào),配合SJ6000激光干涉儀,可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下,觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
SJ6000納米精度位移激光干涉測(cè)量?jī)x適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,為制造業(yè)提供了一種精密的測(cè)量檢測(cè)方式。
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測(cè)量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測(cè)量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m |
直線度測(cè)量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~15.0)m |
垂直度測(cè)量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。
如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。
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