簡要描述:SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 能源,電子,交通,汽車,綜合 |
中圖儀器SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,具有實時性測量能力,能夠同時測量多個位置或參數(shù),提高測量效率。
▲直線度測量的光路原理構建圖
直線度干涉鏡在移動過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時,兩束反射光會有相對應的光程差產(chǎn)生,SJ6000采集到該光程差的干涉信號,經(jīng)過運算處理,即可得出對應的直線度值。
直線度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成,可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測量。
▲運動軸的橫向直線度測量示意圖
▲運動軸的縱向直線度測量示意圖
▲SJ6000激光干涉儀測量導軌的直線度
SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
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