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機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述:SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

  • 更新時(shí)間:2024-08-09
  • 產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:591

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子,汽車(chē),綜合

中圖儀器SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀

工作原理

激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來(lái)測(cè)量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發(fā)生干涉,形成干涉條紋,通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)推斷被測(cè)量物體的參數(shù)。


產(chǎn)品功能

(1)可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等;

(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀

主要鏡組圖

其中,線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配,由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。


線(xiàn)性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線(xiàn)性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。

機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀

SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,為制造業(yè)提供了一種精密的測(cè)量檢測(cè)方式。


部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時(shí)間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線(xiàn)性測(cè)量距離(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件)
線(xiàn)性測(cè)量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測(cè)量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測(cè)量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m)
直線(xiàn)度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m
直線(xiàn)度測(cè)量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~15.0)m
垂直度測(cè)量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項(xiàng):

平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線(xiàn)度鏡組+垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組+垂直度鏡組

直線(xiàn)度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。


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