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激光位移干涉測量儀

簡要描述:SJ6000激光位移干涉測量儀具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號:SJ6000
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:870

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區(qū)間面議
組成要素固體激光器產(chǎn)品及設(shè)備產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,交通,汽車,綜合

在計量領(lǐng)域中,激光干涉儀可作為長度基準以及設(shè)備校準工具,廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。


中圖儀器SJ6000激光位移干涉測量儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

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產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。


主要鏡組圖.png

主要鏡組圖


其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


SJ6000激光位移干涉測量儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

傳感器線性精度測量.jpg

傳感器線性精度測量

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實例斜床的傾斜軸測量.jpg

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實例斜床的傾斜軸測量


技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m



注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量



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