簡要描述:中圖儀器超精密激光干涉儀sj6000使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 化工,農(nóng)業(yè),交通,汽車,綜合 |
中圖儀器超精密激光干涉儀sj6000使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
1.可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
2.可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;
4.可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);
5.具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;
6.支持手動或自動進行環(huán)境補償。
1. 自動采集數(shù)據(jù),避免人為讀數(shù)誤差,精度高;
2. 測量過程全自動化,效率高;
3. 可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸,可測量任意角度間隔,通用性強;
4. 超精密激光干涉儀sj6000可自動生成誤差曲線和補償數(shù)據(jù),根據(jù)不同標準自動計算定位精度結(jié)果,無需人工計算。
回轉(zhuǎn)軸精度測量
光刻機Y軸Vertical Straightness測量
1.友好的人機界面;
2.豐富的應用功能模塊;
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4.簡潔化的記錄管理;
5.支持中文、英文和俄文界面;
6.支持企業(yè)專屬模板定制。
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