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工業(yè)激光共聚焦電子顯微鏡

簡要描述:基于激光共聚焦顯微測量技術的VT6000工業(yè)激光共聚焦電子顯微鏡,配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號:VT6100
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1213

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器儀器種類雙轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡
應用領域綜合,材料領域產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域綜合,材料領域

共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術,它通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強的縱向深度的分辨能力。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。


在材料生產(chǎn)領域中,如需要分析金屬材料/部件粗糙度的時候,不管是使用原子力顯微鏡還是臺階儀,都沒有辦法同時兼顧分辨率、掃描區(qū)域以及掃描速度。而基于激光共聚焦顯微測量技術的工業(yè)激光共聚焦電子顯微鏡,配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。

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產(chǎn)品應用

1、非接觸式掃描,操作簡便,樣品即放即掃。

應用:墊圈

VT6000工業(yè)激光共聚焦電子顯微鏡非接觸式掃描測量速度比接觸式測量快數(shù)百倍。能以更高的精度對亞微米范圍的3D結構進行測量,短時間內(nèi)能測量整個面板表面密封件的性能,以及其與表面組成相關的各種數(shù)據(jù)點。

2、具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

應用:金屬板

除粗糙度評價標準外,激光共聚焦顯微鏡還可以計算和評估表面封閉區(qū)域的微體積,適用于評估這些重要的功能性三維結構。結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

應用:摩擦學,腐蝕等表面工程

磨痕的體積測量,粗糙度測量,表面形貌,腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

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應用:半導體/ LCD

各種工藝(顯影,刻蝕,金屬化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌觀察, 缺陷分析 非接觸型的線寬,臺階深度等測量。

3、具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量。

在樣品表面抽取多個區(qū)域測量,就可以快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。

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性能特色

1、高精度、高重復性

1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度;

2)隔震設計能夠消減底面振動噪聲,儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測量重復性。

2、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。

3、雙重防撞保護措施

除軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風險。


激光共聚焦顯微鏡具有高對比度、高分辨率及可重建三維圖像的優(yōu)勢,查看各種顯微照片更加清晰,在材料生產(chǎn)、科研和檢測領域獲得廣泛應用。


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