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共聚焦顯微鏡

簡要描述:中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測,所展現的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產品型號:VT6100
  • 廠商性質:生產廠家
  • 訪  問  量:1735

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器儀器種類超高速激光共聚焦顯微成像系統(tǒng)
價格區(qū)間面議產地類別國產
應用領域能源,交通,航天,汽車,綜合

中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測,所展現的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。


產品功能

1) 設備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;

2)一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。

3)提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。



技術指標

型號:VT6100

行程范圍:100*100*100mm

視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測量重復性(1σ):12nm

高度測量精度:± (0.2+L/100) μm

高度測量分辨率:0.5nm


寬度測量重復性(1σ):40nm

寬度測量精度:± 2%

寬度測量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

儀器重量:50kg


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高精度、高重復性

1)以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的搞測量精度;

2)儀器的隔震設計能夠消減底面振動噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測量重復性。


共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


應用領域

對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


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