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激光干涉儀測量系統(tǒng)

簡要描述:中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,結(jié)合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析,實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產(chǎn)品型號:SJ6000
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1419

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,建材,交通,航天,汽車

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,結(jié)合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析,實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析。


功能

1.可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

2.可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

3.可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量;

4.可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

6.具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

7.支持手動或自動進行環(huán)境補償。


SJ6000激光干涉儀,國產(chǎn)激光干涉儀品牌.jpg


中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)測量分辨率可達(dá)0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。作為一個交流測試系統(tǒng),當(dāng)激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時,其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結(jié)果可靠,在精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

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