簡要描述:w1光學3D表面輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像,找到該過程中每一個像素點處于光強大時的位置,完成3D重建。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應用領(lǐng)域 | 食品,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),能源,航天 |
w1光學3D表面輪廓儀測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像,找到該過程中每一個像素點處于光強大時的位置,完成3D重建。
它以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領(lǐng)域。
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性:0.1nm
表面形貌重復性:0.1nm
臺階測量重復性:0.1% 1σ;準確度:0.75%
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
w1光學3D表面輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計,隔離地面震動與噪聲干擾。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。
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