簡要描述:SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝?,同時內部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 環(huán)保,食品,能源,航天,綜合 |
SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀由照明光源系統(tǒng),光學成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
產品型號:SuperView W1系列
產品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快
生產企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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1. 非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;
2. 測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;
3. 不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;
4. 對高深寬比的溝槽結構,可以快速而精確的得到理想的測量結果。
SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝?,同時內部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用。
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