簡要描述:中圖儀器光學表面輪廓檢測儀可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應用領域 | 環(huán)保,能源,航天,汽車,綜合 |
中圖儀器光學表面輪廓檢測儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。
SuperViewW1 光學3D表面輪廓儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝樱瑫r內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-100%
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析,測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
SuperViewW1光學表面輪廓檢測儀載物臺尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的最高精度可達0.1nm。
【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件;
【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um;
SuperViewW1 光學3D表面輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項技術(shù)能力強,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。
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