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平面光學激光干涉儀

簡要描述:中圖儀器的平面光學激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。

  • 更新時間:2024-05-11
  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1916

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領(lǐng)域地礦,能源,交通,航天,汽車

中圖儀器的平面光學激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。


產(chǎn)品型號:SJ6000

穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)

角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力:1nm

動態(tài)采集頻率:50KHz

預熱時間:≤6分鐘

工作溫度范圍:(0-40)℃

環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%

主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便


產(chǎn)品型號: SJ6800

穩(wěn)頻方式: 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度: 0.04ppm

測量距離:≤(0-80)m(無需遠距離線性附件)

測量分辨力:1nm

測量最大速度:4m/s

線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃

角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)

主要特點:絕對測量、恒測力、無阿貝誤差


中圖儀器的平面光學激光干涉儀測量分辨率可達0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。


500.jpg


中圖激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、垂直度、角度、直線度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。


如數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當前有效且廣泛應用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。


對數(shù)控機床進行螺距誤差補償.jpg



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