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三維表面形貌儀

簡要描述:SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術(shù)為原理,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。

  • 更新時間:2024-05-11
  • 產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:2120

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子,航天,汽車干涉物鏡10x(2.5x,5x,20x,50x,100x可選)
視覺尺寸(0.049x0.049)mm-(6x6)mmXY移動范圍(200x200)mm
負(fù)載10kgZ向掃描范圍10mm
Z向分辨率0.1nm可測樣品反射率0.05%-100%
臺階測量準(zhǔn)確度0.7%

SuperView W1系列三維表面形貌儀基于白光干涉原理研制而成,采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。


白光干涉原理

500白光干涉原理.jpg


產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司


產(chǎn)品型號:SuperView W1-Pro

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY位移平臺:尺寸300×300mm,行程200×200mm,電動

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司


500兩種型號.jpg


技術(shù)指標(biāo)

500技術(shù)指標(biāo).jpg


產(chǎn)品特點

參數(shù)測量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網(wǎng)打盡;

環(huán)境噪聲檢測:實時監(jiān)測,納米波動,也無可藏匿;

雙重防撞保護(hù):軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;

自動拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫";

雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動山搖,我自巋然不動"。


產(chǎn)品性能

縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速:50FPS/s

粗糙度重復(fù)性:0.005nm(依據(jù)ISO 25178-2012)

光學(xué)分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關(guān)

*大點數(shù):1048576(標(biāo)準(zhǔn))

臺階測量:準(zhǔn)確度≤0.3%,重復(fù)性≤0.08%1σ


SuperView W1系列三維表面形貌儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。





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