激光的高方向性、高相干性和高單色性特點(diǎn)，使其具有普通光源所沒(méi)有的優(yōu)勢(shì)。以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測(cè)試的分辨率可達(dá)納米級(jí)。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

1）測(cè)量精度高

2）檢測(cè)功能多

3）可設(shè)定補(bǔ)償方式，自動(dòng)生成報(bào)表

4）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能

5）內(nèi)置多種機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

6）可選擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償

7）安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

激光干涉儀的主要的應(yīng)用之一就是機(jī)床精度檢測(cè)。SJ6000激光干涉儀可以通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量。其線性定位測(cè)量的精度是0.5ppm，可以滿(mǎn)足現(xiàn)在所有類(lèi)型數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)，它可以棄普通車(chē)間進(jìn)行應(yīng)用，具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。

SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測(cè)試的案例

1、檢測(cè)五軸機(jī)床旋轉(zhuǎn)軸精度

測(cè)量系統(tǒng)：激光頭+角度干涉鏡+角度反射鏡

旋轉(zhuǎn)軸的角度反射鏡是安裝在轉(zhuǎn)臺(tái)組件上，該組件可以繞中心自身旋轉(zhuǎn)。在測(cè)量時(shí)，待測(cè)的旋轉(zhuǎn)軸向正方向旋轉(zhuǎn)某一個(gè)角度后，轉(zhuǎn)臺(tái)組件會(huì)沿著其逆方向精確地旋轉(zhuǎn)該角度，例如待測(cè)軸沿正方向旋轉(zhuǎn)15°，由于誤差的存在，則可能旋轉(zhuǎn)（15+ Δ）°；此時(shí)，轉(zhuǎn)臺(tái)組件會(huì)沿著逆方向精確旋轉(zhuǎn)，即沿負(fù)方向精確旋轉(zhuǎn) 15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對(duì)著激光頭。而誤差 Δ就是旋轉(zhuǎn)軸的定位誤差。

2、直線度測(cè)量

在直線度測(cè)量過(guò)程中，可以由直線度干涉鏡或直線度反射鏡運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生相對(duì)于運(yùn)動(dòng)軸的橫向移動(dòng)來(lái)進(jìn)行測(cè)量，但為了提高測(cè)量的準(zhǔn)確度和精度，一般都采用直線度干涉鏡相對(duì)于直線度反射的運(yùn)動(dòng)。SJ6000直線度測(cè)量可以對(duì)水平面和垂直面進(jìn)行測(cè)量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

SJ6000激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡種，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進(jìn)光口，有光電探測(cè)器、分析器完成計(jì)數(shù)和測(cè)量。如機(jī)器軸直線度誤差的測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），由于導(dǎo)軌磨損、事故造成的導(dǎo)軌損壞以及地基不牢導(dǎo)致的導(dǎo)軌彎曲等，會(huì)對(duì)機(jī)器的定位、加工精度帶來(lái)直接的影響。直線度測(cè)量可以顯示出機(jī)器導(dǎo)軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對(duì)機(jī)器的性能做出評(píng)價(jià)和補(bǔ)償。

測(cè)量機(jī)床直線度

3、垂直度測(cè)量

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱(chēng)正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

測(cè)量機(jī)床垂直度

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