詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產地類別 | 國產 |
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外形尺寸 | 900x700x604mmmm | 重量 | 90kg |
應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子 | 測量范圍 | 140x110x100mm |
用途 | 測量精密工件的微觀形貌 | 臺階測量準確度 | 0.3% |
臺階測量重復性 | 0.08%?1σ | 粗糙度RMS重復性 | 0.005nm |
通過對三維形貌的測量,能較為全面地評定表面質量的優(yōu)劣,因為微觀表面形貌直接影響著零件的技術性能評價,所以表面三維評定參數能更全面衡量零件表面質量,因此表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。而在三維微觀測量領域中,特別是在如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量高要求的領域中,光學三維表面形貌儀的測量精度*高。中圖儀器的SuperView W1光學三維表面形貌儀價格實惠,且測量精度可以達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。
產品參數
技術指標
光學三維表面形貌儀也叫光學干涉儀,工作原理是光源發(fā)出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被測表面反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀,但橫向測試范圍,縱向高度尺度也很關鍵。在超精密加工中,3D AOI(自動光學檢測)是對傳統(tǒng)精密加工上的升級,彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改進設備性能以滿足各大電子廠對質量和產品能得雙重要求。拋開光學三維表面形貌儀價格實惠不說,基于白光干涉原理而研發(fā)生產的SuperView W1能以非接觸的方式,無損檢測精密機械加工表面,檢測結果以3D數據地圖的方式顯示,直觀地展示了表面紋理特征。
如一款旋轉拋物面零件,用于微小位移和角度檢測,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,針對其凹面弧形的檢測需求,現有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,而以白光干涉為原理的SuperView W1光學三維表面形貌儀,能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。
通過中圖儀器光學三維表面形貌儀對工件的三維形貌進行測量,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,最后可以才反過來通過指導加工、優(yōu)化加工工藝,以加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現。
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