三維表面輪廓儀是一種先進(jìn)的測(cè)量設(shè)備,主要用于測(cè)量和分析物體表面的三維輪廓和形貌。其主要基于光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量。它利用激光或其他光源投射到被測(cè)物體表面,通過(guò)接收反射光或散射光,結(jié)合計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù),獲取物體表面的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)可以進(jìn)一步用于分析物體表面的形狀、粗糙度、紋理等特征。
三維表面輪廓儀的技術(shù)特點(diǎn):
1、高精度測(cè)量:具備納米級(jí)的檢測(cè)精度,能夠精確獲取工件表面的三維形貌和數(shù)據(jù)。
2、大垂直掃描范圍:某些設(shè)備提供150um的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)垂直掃描,以及最大可達(dá)20mm的擴(kuò)展掃描能力。
3、出色的重復(fù)性:重復(fù)性小于0.1nm RMS,確保測(cè)量結(jié)果的可靠性。
4、橫向分辨能力:空間采樣率可達(dá)到0.30um(使用100X物鏡時(shí))甚至更高,這允許設(shè)備捕捉到微觀細(xì)節(jié)。
5、快速掃描速度:最大掃描速度可達(dá)96um/s,提高了檢測(cè)效率。
6、臺(tái)階測(cè)量線(xiàn)性度:重復(fù)性≤0.1%,保證了測(cè)量的準(zhǔn)確性。
7、多功能性:除了用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的質(zhì)量控制,還可以應(yīng)用于文物保護(hù)、地形測(cè)繪等多個(gè)行業(yè)。
總的來(lái)說(shuō),三維表面輪廓儀是一種高新技術(shù)產(chǎn)品,其技術(shù)特點(diǎn)使其在精密工程和科學(xué)研究中扮演著重要角色。通過(guò)這些特點(diǎn),三維表面輪廓儀能夠?yàn)橛脩?hù)提供精確的表面形貌測(cè)量,從而保證產(chǎn)品質(zhì)量和科研數(shù)據(jù)的有效性。