在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,如需要分析金屬材料/部件粗糙度的時候,不管是使用原子力顯微鏡還是臺階儀,都沒有辦法同時兼顧分辨率、掃描區(qū)域以及掃描速度。而基于激光共聚焦顯微測量技術(shù)的VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡,配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。
VT6000激光共聚焦顯微鏡
1、非接觸式掃描,操作簡便,樣品即放即掃。
應(yīng)用:墊圈
激光共聚焦顯微鏡非接觸式掃描測量速度比接觸式測量快數(shù)百倍。能以更高的精度對亞微米范圍的3D結(jié)構(gòu)進行測量,短時間內(nèi)能測量整個面板表面密封件的性能,以及其與表面組成相關(guān)的各種數(shù)據(jù)點。
2、具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
應(yīng)用:金屬板
除粗糙度評價標準外,激光共聚焦顯微鏡還可以計算和評估表面封閉區(qū)域的微體積,適用于評估這些重要的功能性三維結(jié)構(gòu)。結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
應(yīng)用:摩擦學,腐蝕等表面工程
磨痕的體積測量,粗糙度測量,表面形貌,腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。
應(yīng)用:半導體/ LCD
各種工藝(顯影,刻蝕,金屬化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌觀察, 缺陷分析 非接觸型的線寬,臺階深度等測量。
3、具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量。
在樣品表面抽取多個區(qū)域測量,就可以快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。
VT6000激光共聚焦顯微鏡具有高對比度、高分辨率及可重建三維圖像的優(yōu)勢,查看各種顯微照片更加清晰,在材料生產(chǎn)、科研和檢測領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。
微信掃一掃